緊湊型MBE系統-OCTOPLUS 300
多坩堝水平安裝電子束蒸發源-EBVM
脈沖激光沉積/激光分子束外延系統
桌面式模塊化真空鍍膜系統
反射式高能電子衍射儀(RHEED)
差分式反射式高能電子衍射儀TorrRHEED
二次電子發射系數測試系統
圓柱鏡面對稱緊湊型能量分析儀
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