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量產型大容量束源爐-PEZ是為較高產能MBE系統特殊設計的，寬溫度范圍，大容量束源爐，溫度范圍：200到1400℃，可以蒸發不同元素和化合物，包括標準的III/V族和II/VI族材料，如Al，Ga，In，As，Zn。
加熱器可以根據蒸發材料的不同要求制作。廣泛應用于GaAs，CIGS，太陽能電池，OLED等領域。
產品特點：
安裝法蘭：DN63CF／DN100CF／DN150CF／DN200CF
真空內長度：250～400 mm
加熱燈絲類型：標準的鉭加熱燈絲／熱唇加熱燈絲／冷唇加熱燈絲／雙燈絲加熱
熱偶：W5%Re / W26%Re (C型)
加熱溫度：200～1400℃
除氣溫度：最高1500℃
外部烘烤溫度：250℃
冷卻方式：集成水冷或獨立冷屏
坩堝容量：40～4000 cc
坩堝材料：PBN
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