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高溫束源爐-HTEZ用于低蒸汽壓的元素和化合物材料薄膜沉積，例如Fe，Cr，Ni，Co，Au，Ge等材料，以及表面科學分析和磁性或氧化物薄膜沉積。
產品特點：
安裝法蘭：DN40CF / DN63CF
真空內長度：220～400 mm
加熱燈絲類型：鉭絲加熱
熱偶：W5%Re / W26%Re( C型)
加熱溫度：最高1900℃(根據所選坩堝材料)
除氣溫度：最高1900℃(根據所選坩堝材料)
外部烘烤溫度：250℃
冷卻方式：集成水冷 / 獨立冷屏
坩堝容量：1.5 / 10 / 35 cc
坩堝材料：Al2O3，BeO，Ta，W(根據要求其他材料)
選配：擋板
如有設備需求或技術咨詢歡迎隨時聯系我們。
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郵箱：Info@be-instruments.com
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